Энциклопедия

Осаждение распылением


6. Осаждение распылением - процесс нанесения внешнего покрытия, основанный на передаче импульса, когда положительные ионы ускоряются в электрическом поле в направлении к поверхности мишени (материала покрытия). Кинетическая энергия падающих на мишень ионов достаточна для выбивания атомов с поверхности мишени, которые затем осаждаются на соответствующим образом установленную подложку1

Морфология

Род

Понятие «осаждение распылением» среднего рода.

Склонение и число

Падеж Единственное число Множественное число
Р осаждения распылением осаждения распылением
Д осаждению распылением осаждению распылением
В осаждение распылением осаждение распылением
Т осаждением распылением осаждением распылением
П осаждении распылением осаждении распылением
Законы с комментариями

Кодексы и федеральные законы