Осаждение распылением
6. Осаждение распылением - процесс нанесения внешнего покрытия, основанный на передаче импульса, когда положительные ионы ускоряются в электрическом поле в направлении к поверхности мишени (материала покрытия). Кинетическая энергия падающих на мишень ионов достаточна для выбивания атомов с поверхности мишени, которые затем осаждаются на соответствующим образом установленную подложку1
Понятие «осаждение распылением» среднего рода.
| Падеж | Единственное число | Множественное число |
|---|---|---|
| Р | осаждения распылением | осаждения распылением |
| Д | осаждению распылением | осаждению распылением |
| В | осаждение распылением | осаждение распылением |
| Т | осаждением распылением | осаждением распылением |
| П | осаждении распылением | осаждении распылением |