Encyclopedia
Physical deposition from the vapor phase obtained by heating
2. Physical vapor deposition from a vapor phase obtained by heating - a process of applying an external coating under vacuum at a pressure below 0.1 Pa using any source of thermal energy to evaporate the coating material. The process leads to condensation or deposition of vapor onto a suitably prepared substrate.
Source: Order No. 575 of the Russian Federal Customs Service dated March 27, 2012 (as amended on October 30, 2012) "On Control of Export of Dual-Use Goods and Technologies That May Be Used in the Production of Weapons and Military Equipment and Subject to Export Controls"
Морфология
Род
Понятие «физическое осаждение из паровой фазы, получаемой нагревом» среднего рода.
Склонение и число
| Падеж | Единственное число | Множественное число |
|---|---|---|
| Р | физического осаждения из парового фазы, получаемой нагревом | физического осаждения из парового фазы, получаемой нагревом |
| Д | физическому осаждению из паровому фазы, получаемой нагревом | физическому осаждению из паровому фазы, получаемой нагревом |
| В | физическое осаждение из паровое фазы, получаемой нагревом | физическое осаждение из паровое фазы, получаемой нагревом |
| Т | физическим осаждением из паровым фазы, получаемой нагревом | физическим осаждением из паровым фазы, получаемой нагревом |
| П | физическом осаждении из паровом фазы, получаемой нагревом | физическом осаждении из паровом фазы, получаемой нагревом |