Энциклопедия

Физическое осаждение из паровой фазы, получаемой нагревом


2. Физическое осаждение из паровой фазы, получаемой нагревом, - процесс нанесения внешнего покрытия в вакууме при давлении ниже 0,1 Па с использованием какого-либо источника тепловой энергии для испарения материала покрытия. Процесс приводит к конденсации или осаждению пара на соответствующим образом установленную подложку1

Морфология

Род

Понятие «физическое осаждение из паровой фазы, получаемой нагревом» среднего рода.

Склонение и число

Падеж Единственное число Множественное число
Р физического осаждения из парового фазы, получаемой нагревом физического осаждения из парового фазы, получаемой нагревом
Д физическому осаждению из паровому фазы, получаемой нагревом физическому осаждению из паровому фазы, получаемой нагревом
В физическое осаждение из паровое фазы, получаемой нагревом физическое осаждение из паровое фазы, получаемой нагревом
Т физическим осаждением из паровым фазы, получаемой нагревом физическим осаждением из паровым фазы, получаемой нагревом
П физическом осаждении из паровом фазы, получаемой нагревом физическом осаждении из паровом фазы, получаемой нагревом
Законы с комментариями

Кодексы и федеральные законы