Энциклопедия
Физическое осаждение из паровой фазы, получаемой нагревом
2. Физическое осаждение из паровой фазы, получаемой нагревом, - процесс нанесения внешнего покрытия в вакууме при давлении ниже 0,1 Па с использованием какого-либо источника тепловой энергии для испарения материала покрытия. Процесс приводит к конденсации или осаждению пара на соответствующим образом установленную подложку1
Морфология
Род
Понятие «физическое осаждение из паровой фазы, получаемой нагревом» среднего рода.
Склонение и число
| Падеж | Единственное число | Множественное число |
|---|---|---|
| Р | физического осаждения из парового фазы, получаемой нагревом | физического осаждения из парового фазы, получаемой нагревом |
| Д | физическому осаждению из паровому фазы, получаемой нагревом | физическому осаждению из паровому фазы, получаемой нагревом |
| В | физическое осаждение из паровое фазы, получаемой нагревом | физическое осаждение из паровое фазы, получаемой нагревом |
| Т | физическим осаждением из паровым фазы, получаемой нагревом | физическим осаждением из паровым фазы, получаемой нагревом |
| П | физическом осаждении из паровом фазы, получаемой нагревом | физическом осаждении из паровом фазы, получаемой нагревом |