Encyclopédie
Ellipsomètre laser
Éllipsomètre laser : appareil de contrôle optique non destructif destiné à la mesure de l'épaisseur et (ou) de l'indice de réfraction des couches transparentes par la méthode polarimétrique1
ГОСТ Р 53696-2009. Norme nationale de la Fédération de Russie. Contrôle non destructif. Méthodes optiques. Termes et définitions : 1100-ст. 2009. ↩
Понятие «лазерный эллипсометр» мужского рода.
| Падеж | Единственное число | Множественное число |
|---|---|---|
| Р | лазерного эллипсометра | лазерных эллипсометров |
| Д | лазерному эллипсометру | лазерным эллипсометрам |
| В | лазерный эллипсометр | лазерные эллипсометры |
| Т | лазерным эллипсометром | лазерными эллипсометрами |
| П | лазерном эллипсометре | лазерных эллипсометрах |