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Ionenausscheidung


d) Ionenabscheidung – eine spezielle Modifikation des Prozesses der physikalischen Abscheidung aus der Dampfphase, die durch Erwärmen erzeugt wird, bei der ein plasmatischer oder ionischer Quell zur Ionisation des Materials der aufgebrachten Schichten verwendet wird und eine negative Verschiebung, die an die Trägerplatte angelegt wird, dazu beiträgt, die erforderlichen Ionen aus dem Plasma zu extrahieren. Die Zugabe aktiver Reagenzien, das Verdampfen fester Materialien im Ofen sowie der Einsatz von Mess- und Kontrollvorrichtungen, die während des Aufbringens der Schichten die optischen Eigenschaften und die Dicke der Schichten messen – sind übliche Modifikationen dieses Prozesses1

  1. Erlass vom 27.03.2012 № 575 „Zur Überwachung des Exports von Waren und Technologien mit Doppelzweck, die bei der Herstellung von Waffen und militärischer Ausrüstung verwendet werden können und für die ein Exportkontrollregime besteht“. ↩

Морфология

Род

Понятие «осаждение ионное» среднего рода.

Склонение и число

Падеж Единственное число Множественное число
Р осаждения ионного осаждения ионного
Д осаждению ионному осаждению ионному
В осаждение ионное осаждение ионное
Т осаждением ионным осаждением ионным
П осаждении ионном осаждении ионном
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