Осаждение ионное
д) ионное осаждение - специальная модификация процесса физического осаждения из паровой фазы, получаемой нагревом, в котором плазменный или ионный источник используется для ионизации материала наносимых покрытий, а отрицательное смещение, приложенное к подложке, способствует экстракции необходимых ионов из плазмы. Введение активных реагентов, испарение твердых материалов в камере, а также использование контрольно-измерительных устройств, обеспечивающих измерение (в процессе нанесения покрытий) оптических характеристик и толщины покрытий, - обычные модификации этого процесса1
Понятие «осаждение ионное» среднего рода.
| Падеж | Единственное число | Множественное число |
|---|---|---|
| Р | осаждения ионного | осаждения ионного |
| Д | осаждению ионному | осаждению ионному |
| В | осаждение ионное | осаждение ионное |
| Т | осаждением ионным | осаждением ионным |
| П | осаждении ионном | осаждении ионном |