Enzyklopädie

Ionenimplantation


7. Ionenimplantation – ein Prozess der Oberflächenmodifikation, bei dem das Legierungs-material ionisiert und in einem elektrischen Feld beschleunigt und in den oberflächennahen Schicht des Substrats implantiert wird. Dieser Begriff umfasst auch Prozesse, bei denen die Ionenimplantation gleichzeitig mit der physikalischen Gasphasenabscheidung durch Elektronenstrahlheizung oder mit der Abscheidung durch Verdampfung erfolgt1

  1. Erlass des Präsidenten vom 17.12.2011 № 1661 „Über die Genehmigung der Liste von Waren und Technologien mit Doppelzweck, die bei der Herstellung von Waffen und militärischer Ausrüstung verwendet werden können und für die ein Exportkontrollsystem besteht“ // SB RF. 2011. № 52. Artikel 7563. ↩

Gesetze mit Kommentaren

Gesetzbücher und Bundesgesetze